產(chǎn)品列表PRODUCTS LIST
弗萊貝格MDPinline ingot在線(xiàn)硅錠成像設備
對高通量要求的PV工廠(chǎng)中多晶和類(lèi)單晶錠進(jìn)行電學(xué)參數測試表征，在1mm分辨率下的總測量時(shí)間少于一分鐘。
產(chǎn)品特點(diǎn)
檢測符合半導體標準SEMI PV9-1110
對半導體材料電學(xué)參數進(jìn)行非接觸和非破壞性測試
對少子壽命參數可做面掃描測試
對不可見(jiàn)缺陷的可視化測試具有很高靈敏度
對鐵濃度分布做面掃描自動(dòng)設置硅錠切割標準
對硅錠少子壽命的穩態(tài)測試，可硅錠的性能
自動(dòng)化的集成設計低成本測試
對光伏級別的硅錠進(jìn)行2D成像掃描測試，
對一個(gè)硅錠，可在一分鐘內完成分辨率低于1mm的成像測試
產(chǎn)品優(yōu)勢
MDPinline ingot對有高通量要求PV工廠(chǎng)里的多晶硅錠電學(xué)參數，具備在線(xiàn)測試速度：在1分鐘內可完成分辨率大于1mm的成像掃描測試，同時(shí)可完成電導類(lèi)型轉變的空間分布掃描和電阻率的線(xiàn)掃描測試?？蛻?hù)制定的硅錠切割標準，可通過(guò)數據中心，對下一代PV工廠(chǎng)的材料制備進(jìn)行全自動(dòng)監控，完成對材料生長(cháng)質(zhì)量控制，坩堝狀況監控，以及各種失效分析。通過(guò)的“underneath thesurface”測試技術(shù)，可減少由表面復合引起的數據失真情況出現。
弗萊貝格MDPinline ingot在線(xiàn)硅錠成像設備
MDPinline ingot系統是范圍內的測量工具，可用于對多晶硅和類(lèi)單晶硅錠進(jìn)
行電學(xué)表征。專(zhuān)為高通量工廠(chǎng)中的單個(gè)晶錠測試而開(kāi)發(fā)，每個(gè)晶錠都可在1分鐘內完成所有面的電學(xué)
參數表征測試參數包括1mm分辨率的少子壽命面掃描分布，電導類(lèi)型分布圖，以及電阻率線(xiàn)掃描分布圖。
該系統包括數據處理，傳輸和存儲，以及評估系統。提供全自動(dòng)的硅錠切割位置，用于產(chǎn)能，材料質(zhì)量監控，坩堝選擇和工藝優(yōu)化等。
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